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深圳市鹏乐智能系统有限公司取得一种晶圆检测大理石检测平台专利，确保上端设备运作时不容易晃动不会震动
金融界2025年1月10日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市鹏乐智能系统有限公司取得一项名为“一种晶圆检测大理石检测平台”的专利，授权公告号 CN 222299504 U，申请日期为 2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆检测大理石检测平台，包括大理石主平台、包括大理石靠板、X 轴部件、Y 轴部件、Z 轴部件，本实用新型的检测平台由高平面度的大理石作为基底，相比于传统采用框架式机架做基底的，可确保后续安装和多轴设备运行时的一个平整度以及提供大重量底座，可确保上端设备运作时不容易晃动不会震动本检测平台 X Y 轴由高精度直线电机、高精度导轨组成，使 X、Y 运行平稳，且运动精度与重复精度高，定位精度达±1μm；检测平台 X、Y 轴配备高精度光栅尺位移传感器，定位精度±1μm；检测平台底部安装橡胶减震垫，减少机台的整体抖动，使机台运动结构平稳运行。
天眼查资料显示，深圳市鹏乐智能系统有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本600万人民币，实缴资本350万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏乐智能系统有限公司知识产权方面有商标信息4条，专利信息11条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
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快照生成时间：2025-01-10 17:45:07
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