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非光刻方案，佳能开始销售 5nm 芯片生产设备
类别：科技 发布时间：2023-10-14 19:39:00 来源：瘦子财经
10月14日消息，佳能（Canon）公司近日发布新闻稿，开始销售芯片生产设备FPA-1200NZ2C，表示采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造5nm芯片。
佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者ASML不同，并非光刻，而更类似于印刷，没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。
这套设备可以应用于最小14平方毫米的硅晶圆，从而可以生产相当于5nm工艺的芯片。
佳能表示会继续改进和发展这套系统，未来有望用于生产2nm芯片。
IT之家注：纳米印刷（Nanoprintedlithography）通常被认为是光学光刻的低成本替代品，SK海力士和铠侠等存储芯片制造商过去曾尝试过使用。铠侠此前进行过测试，不过潜在客户提出投诉，认为产品缺陷率较高，最后选择放弃。
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快照生成时间：2023-10-14 23:45:03
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信息原文地址：
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