微导纳米前三季度营收创历史新高

10月30日，微导纳米发布2023年三季度报告。前三季度实现营收10.22亿元，同比增长165.3%，规模创历史新高；归母净利润1.55亿元，同比增加1.58亿元，充分彰显公司高成长性。其中，2023年第三季度增长势头迅猛，营收同环比均翻倍以上增长，当季归母净利润达0.87亿元，同比也大增140.32%。微导纳米表示，公司营业收入快速增长主要系在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长所致。

《经济参考报》记者注意到，截至2023年前三季度，微导纳米在手订单约70.82亿元，同比增长258.58%。其中，半导体在手订单同比增长412.15%，光伏在手订单同比增长244.32%，在手订单规模高增，有望助力公司未来业绩持续增长。

半导体设备隐形龙头 持续发力薄膜沉积设备

公开资料显示，微导纳米是国内领先的半导体薄膜沉积设备供应商，专注于ALD技术的研发及应用场景拓展，已经形成了以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，积极布局逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等细分应用领域，并在各细分领域持续获得行业知名客户订单。

在半导体设备领域，微导纳米锐意进取，在国内首次成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm集成电路制造前道量产线。凭借关键工艺的领先优势和较全的工艺覆盖度，微导纳米已发展成为国内ALD薄膜沉积领域的佼佼者，并将在芯片微缩化、3D化的后摩尔时代中充分受益。根据西部证券研报，预计2025年国内ALD设备市场空间有望达到126.6亿元。

在保持ALD产品市场竞争力和占有率的同时，微导纳米不断推出更多具备竞争力的CVD系列产品，解决关键工艺的市场空白，在薄膜沉积设备领域持续发力。

公司CVD产品于今年7月顺利发货至客户端。根据SEMI统计，ALD约占半导体镀膜设备板块11%，PECVD、LPCVD等CVD设备约占镀膜设备的57%，相关设备的覆盖工艺范围较广，新产品的推出将使得公司潜在可触达市场增长四倍。

目前来看，微导纳米半导体业务弹性巨大。业绩显示，截至9月30日，公司半导体设备领域在手订单同比增长412.15%，在行业公司中展现出了突出的成长能力。

紧抓光伏产业机遇 完善技术性平台建设

光伏设备是微导纳米的另一优势领域。在全球碳中和的背景下，光伏行业快速发展，装机量持续增加，客户产能扩充计划加速。微导纳米基于深厚技术积累，将薄膜沉积技术灵活协同应用，全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域。目前，公司已发展成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。

在本轮TOPCon扩产浪潮中，微导纳米与行业多家头部客户共同合作，充分发挥了ALD设备的竞争力优势，ALD产品市占率遥遥领先。同时自主研发并率先引入了半导体级的单面镀膜PEALD，管式PECVD氧化与原位掺杂多晶硅等一系列镀膜新技术，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。根据公开信息，微导纳米已获得多个TOPCon整线工艺和PE-Poly设备订单，光伏设备订单结构日趋多元化，对主要工艺环节实现了全覆盖。

在新一代高效电池技术设备方面，微导纳米积极布局，储备未来增长点，已出货XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备，并根据其量产节奏完善相关的技术储备和产品，为光伏电池技术的产业化提供了更多的助力与更多的技术选择。

与此同时，微导纳米持续完善技术性平台建设，依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会。在新兴领域，目前已有两款设备进入产业化应用、产业化验证阶段，分别用于柔性电子材料封装和高端装备的微纳制造镀膜。

微导纳米通过构建技术平台型，形成多领域、多品类产品覆盖，也在一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响，不断拓宽公司市场规模和成长空间。

业内人士指出，微导纳米已逐步成长为行业“隐形龙头”，成长潜能逐步兑现，半导体设备蓄势待发，未来有望进一步构筑核心竞争优势，为高质量稳健发展注入“活水”。