...gh-NA EUV光刻实验室(High NA EUV Lithography Lab)在荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)开幕,该实验室可提供High NA EUV扫描仪(TWINSCANEXE:5000)及周边处理工具。声明中称,该实验室的启用是为大批量生产High NA EUV做准备的一……更多
...gh-NA EUV光刻实验室(High NA EUV Lithography Lab)在荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)开幕,该实验室可提供High NA EUV扫描仪(TWINSCANEXE:5000)及周边处理工具。声明中称,该实验室的启用是为大批量生产High NA EUV做准备的一……更多