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南昌中微取得一种气体分流器及半导体处理设备专利，提高了产品应用的自由度
金融界2025年1月23日消息，国家知识产权局信息显示，南昌中微半导体设备有限公司取得一项名为“一种气体分流器及半导体处理设备”的专利，授权公告号 CN 222316697 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，一种气体分流器及半导体处理设备，气体分流器为半导体处理设备中的反应腔供气，气体分流器包含控制器和至少两个设置在分路气体管路上的气体分路模块，气体分路模块包含信号转接单元，以及串联设置在分路气体管路上的控制阀和流量传感器，信号转接单元分别与控制器、控制阀和流量传感器电连接，控制器经信号转接单元接收流量传感器的测量信号，并通过信号转接单元控制控制阀的开闭。本实用新型将各个零部件进行模块化设置，提高了产品应用的自由度，减少了设备维护成本，降低了配装难度，提升了信号响应速度。
天眼查资料显示，南昌中微半导体设备有限公司，成立于2017年，位于南昌市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2500万人民币，实缴资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，南昌中微半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目149次，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可22个。
本文源自：金融界
作者：情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
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快照生成时间：2025-01-23 11:45:05
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