张江集团：上海微电子成功研制出中国首台28nm光刻机｜硅基世界

（图片来源：钛媒体App编辑拍摄）

传闻落地，中国成功研制出首台28nm光刻机。

钛媒体App 12月20日消息，据张江集团官方账号“你好张江”于19日披露，作为国内唯—一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子已成功研制出28nm光刻机。此文章还肯定了中芯国际、华虹半导体等在先进模拟芯片代工方面不断注入的强劲能量。

据悉，上海张江（集团）有限公司（简称“张江集团”）于1992年7月28日挂牌设立，是一家统筹承担张江科学城开发建设、项目引进、产业培育、功能服务、创新创业氛围营造等重要功能的国有独资公司，隶属于上海市浦东新区政府监管单位。

因此，张江集团公布的这一消息，标志着中国最新28nm前道光刻机研发进展首次被官方披露。

公开信息显示，上海微电子（SMEE）成立于2002年，是由国内多家产业集团和投资公司共同投资组建的高科技股份有限公司。公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

2020年的一份公开信息显示，上海微电子员工人数超过1000人，其中博士和硕士占比超过40%。公开消息称，作为对标ASML的公司，上海微电子价值有望接近1000亿元人民币。

公开信息显示，上海微电子主要生产四种系列光刻机：用于IC（集成电路）前道制造的SSX600系列光刻机；IC后道先进封装的SSB500系列光刻机；LED、MEMS、功率器件制造的SSB300系列光刻机；TFT曝光的SSB200系列光刻机。

半导体制造设备可以分为前道设备和后道设备。其中，前道制造设备主要包括光刻机、涂胶显影设备、刻蚀机、去胶机、薄膜沉积设备、清洗机、CMP设备、离子注入机、热处理设备、量测设备；后道制造设备主要包括减薄机、划片机、装片机、引线键合机、测试机、分选机、探针台等。

2022年12月，美国商务部将长江存储、上海微电子等36家中国公司和实体列入所谓的“实体清单”。这意味着，美国企业将需要获得许可，才能向这些中国客户出口美国技术。

股权结构方面，天眼查显示，上海微电子第一大股东为上海电气控股集团有限公司，持股34.9099%；第二大股东为上海科技创业投资有限公司，持股14.4434%。

浦东新区政府官网显示，张江集团成立于1992年，注册资金31.1255亿元人民币。张江科学城规划面积95平方公里，承载着打造世界级一流科学城、国家科创中心的战略任务。在上海建设“全球科创中心”背景下，围绕“科学城开发主力军、新兴产业推动者、科创生态营造者”三大定位，2015年4月经国务院批准，张江科学城37.2平方公里纳入中国（上海）自由贸易试验区。

目前在上海张江集聚了近500家半导体与集成电路企业。公开信息显示，2021年，上海张江集成电路产业销售收入1702.56亿元，占上海全市比重超过六成；2022年，上海张江科学城经营总收入实现完成额11780亿元，其中集成电路产业销售收入完成额2011亿元，同比增长18.1%，占上海集成电路产业总比重的65.8%。

2022年，上海集成电路产业规模已首次突破3000亿元，共培育了29家科创板上市企业。

市场方面，12月20日上午，光刻机概念持续拉升，联合光电涨超12%，张江高科涨近7%，波长光电、海立股份、蓝英装备等跟涨。

（本文首发钛媒体App，作者｜林志佳）返回搜狐，查看更多

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