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LPE 申请用于外延反应器的晶片 盒装载和卸载系统及外延反应器专利，提升晶片盒的装载和卸载效率
类别：财经 发布时间：2025-04-07 19:10:00 来源：瘦子财经
金融界 2025 年 4 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，LPE 公司申请一项名为“用于外延反应器的晶片 盒装载和卸载系统及外延反应器”的专利，公开号 CN 119764227 A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，一种用于装载和卸载外延反应器(4)的晶片(3)盒(2)的系统(1)，该系统(1)包括：转盘平台(5)，其配置为运输至少一个盒(2)，其中转盘平台(5)围绕转盘轴线(7)枢转地能够连接到外延反应器(4)；转盘致动器(6)，其配置成驱动转盘平台(5)相对于外延反应器(4)围绕转盘轴线(7)旋转；至少一个支撑平台(8)，其适于支撑至少一个盒(2)，其中至少一个支撑平台(8)围绕不同于转盘轴线(7)的旋转轴线(9)枢转地连接到转盘平台(5)；旋转致动器(10)，其配置为驱动至少一个支撑平台(8)相对于转盘平台(5)围绕旋转轴线(9)的旋转。
本文源自：金融界
作者：情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
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快照生成时间：2025-04-07 20:45:06
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