从“0”到“1” 建设半导体工厂

本文转自：台州日报

方远远信建设——

从“0”到“1” 建设半导体工厂

台传媒记者颜 彤

12月11日上午，杭州市钱塘区年产20亿颗（件、套）半导体器件建设项目施工现场，塔吊林立，机器声轰鸣。一边，数台挖掘机在进行土方开挖作业；另一边，四五十名工人在进行地下室顶板钢筋绑扎和模板安装。

“10月底，项目的核心区域——FAB厂房（半导体加工车间）顺利封顶，预计于明年4月竣工。今年5月我们开始建设其他厂房及配套用房，争取在2025年5月完成所有工程。”项目经理潘一说。

去年6月，方远集团·台州远信建设工程有限公司（以下简称“方远远信建设”）承建杭州美迪凯微电子有限公司年产20亿颗（件、套）半导体器件项目。该项目由FAB厂房、半导体封装厂房、动力中心、危险品库、测试中心、试验中心、食堂及配套用房等组成，合同价约为4.09亿元，总建筑面积近20万平方米。

走进FAB厂房的四楼——洁净车间，几名工人正在安装消防管线。

FAB是半导体制造产业的核心部分，对于芯片设计和应用至关重要。在FAB洁净车间，为确保电子元件在制造过程中不受到尘埃和其他微粒的污染，空气洁净度需要被严格把控。为此，就需要采用目前先进的华夫板屋面。

站在高楼俯瞰工地，可以发现四层面如同华夫饼一般，呈现出网格状的纹理。

“与普通楼板相比，华夫板的中间预留了大量圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道，从而建立起洁净空调通风系统。洁净车间中含微粒的气流经由华夫板可以重新过滤出洁净且稳定的气流。”潘一说，“华夫板施工质量的好坏将直接影响到整个厂房洁净车间使用功能的发挥，因此如何控制华夫板的施工质量是本工程的重中之重。”

这是方远远信建设第一次施工华夫板屋面。施工工艺截然不同，层高高，面积大，平整度高……为解决这一系列问题，项目部在前期多次组织技术骨干前往丽水、绍兴、湖州等地进行实地考察学习，历时近3个月，最终确定施工方案并通过专家论证。

“为了保证华夫板的平整度，在施工过程中我们采用‘五步找平’‘双方通加固抗浮’‘三道收光’等工艺进行严格控制，实现了预期质量目标。”潘一说。

站在洁净车间向上看，巨大的钢结构屋架映入眼帘，近5000平方米的中心区域没有一根立柱，视野极为开阔。

“这主要是为了满足后期半导体设备能够更便捷地进行移动与更换。钢屋架跨度达36米，柱距为9米，其安装工程属于超过一定规模的危险性较大的分部分项工程。”潘一说。

这么大的体量，如何采取有效的安全技术措施确保钢屋架的吊装？为了找到最合适的方案，方远远信建设项目部向国内装配式钢结构龙头取经，最终根据施工现场的特点，决定采用水平胎架地面散成单元桁架，由大型起重设备辅助吊装的方式，利用“固步式液压顶推滑移”技术，采用“分区累积滑移”的施工工艺进行安装。

“这样不仅保证了施工安全，还将成本从七八十万元降低到了二三十万元。”潘一说。

自2016年以来，方远远信建设就开始与杭州美迪凯微电子有限公司合作，本次项目已经是他们承建的第4个厂区工程。

“我们和远信是老朋友了。一直以来，他们团队的沟通与协调能力都十分突出，不仅‘粗活细做、细活精做’，及时反馈施工进展状况；遇到问题时各部门间会紧密协作，及时确定应对方案，共同推进项目进度，这也是我们持续与远信合作的原因。”杭州美迪凯微电子有限公司驻厂代表林士田说。

据悉，成立于2010年的方远远信建设，是国家建筑工程施工总承包一级资质企业，目前已先后承建浙江水晶光电科技股份有限公司、浙江海翔川南药业有限公司、杭州美迪凯微电子有限公司等十几家上市公司的厂房工程，业务范围已逐渐延伸至新疆、内蒙古、河南、河北、江西等地。