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对复杂光学表面实施检测
本文转自：吉林日报
对复杂光学表面实施检测
长春光机所在干涉补偿检验像差优化设计方面取得进展
本报讯（记者景洋）记者从中科院长春光机所了解到，近日，该所在干涉补偿检验像差优化设计方面取得进展。
干涉检验是指利用光的干涉对光学表面进行实验检测，通过计算干涉仪拍照的干涉条纹图案，计算得到光学表面的形貌。当面对更复杂的光学表面时，需要给干涉仪加装补偿元件，补偿元件相当于一个特殊的眼镜矫正额外的光学像差，实现对于复杂光学表面的检测。
该研究没有取得进展前，在大口径反射镜高精度研制任务中，补偿元件不可避免地在检测光路中引入干涉成像像差，使得表面形貌的检测结果受到衍射效应影响而退化。类比于拍照时的对焦过程，对焦错误就会出现不同程度“模糊”，看不清光学表面的各种细节，这会产生严重的失真，影响检测精度。
针对此问题，中科院长春光机所光学系统先进制造研究团队基于高斯光束采样和线性叠加原理，建立了干涉检测波前在传播过程中的退化模型，提出了CGH干涉补偿检验成像像差优化设计方法，采用复光束追迹的方法，最终解决了高效高精度仿真问题，提高了干涉检验仪器的分辨能力。
目前，该成果已经在科研工程中得到应用，它提高了大口径光学反射镜制造精度，为光学补偿检验系统像差优化设计提供了行之有效的方法。
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快照生成时间：2023-01-31 05:45:41
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