- 我的订阅
- 财经
我们正处于一个信息大暴发的时代，每天都能产生数以百万计的新闻资讯！
虽然有大数据推荐，但面对海量数据，通过我们的调研发现，在一个小时的时间里，您通常无法真正有效地获取您感兴趣的资讯！
头条新闻资讯订阅，旨在帮助您收集感兴趣的资讯内容，并且在第一时间通知到您。可以有效节约您获取资讯的时间，避免错过一些关键信息。
上海华力微电子取得立式炉管装置专利，降低炉管内晶圆膜厚差异性
类别：财经 发布时间：2024-12-23 15:03:00 来源：瘦子财经
金融界2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力微电子有限公司取得一项名为“立式炉管装置”的专利，授权公告号CN 222182428 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种立式炉管装置，包括：外管，外管的一端封闭，外管的另一端开放；第一内管，第一内管的两端均开放，外管将第一内管罩设在内；第二内管，第二内管的两端均开放，第一内管套设于第二内管的外周，且第一内管的内周和第二内管的外周之间形成夹层空间，第二内管的轴向不同位置处设有孔洞；晶舟，其用于承载晶圆；底座，晶舟支撑在底座上，底座用于将晶舟送入第二内管中，并将外管开放的一端封闭。本实用新型通过第一内管和第二内管的设置，均匀了炉管内各处的反应气体浓度，从而降低了炉管内所有晶圆的膜厚差异性，并改善了单个晶圆的膜厚均一性，保证了产品性能的一致性，提高了产品良率，降低了报废率，进而节省了生产成本。
本文源自：金融界
作者：情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端
以上内容为资讯信息快照，由td.fyun.cc爬虫进行采集并收录，本站未对信息做任何修改，信息内容不代表本站立场。
快照生成时间：2024-12-23 17:45:05
本站信息快照查询为非营利公共服务，如有侵权请联系我们进行删除。
信息原文地址：
更多关于炉管,华力,晶圆,差异性,微电子,立式的资讯：
...力半导体制造有限公司（简称“华虹宏力”）与上海华力微电子有限公司（简称“华力微”）签订《技术开发协议》，即由华力微授予华虹宏力生产及工艺技术的非独家许可使用权，并提供配套技术
2023-12-02 16:17:00
...项目，似乎终于迎来了接盘者——华虹集团旗下上海华力微电子有限公司（以下简称“上海华力”）。据报道，上海华力即将接盘烂尾停摆近五年之久的成都格芯12英寸晶圆厂。值得注意的是，上
2023-07-22 22:31:00
...界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，潍坊芯微电子设备有限公司取得一项名为“一种立式扩散炉晶圆转运机器人”的专利
2025-04-29 10:29:00
3月31日，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）在上海贺东基地举行大型半导体设备交付仪式。六台晶圆制造高端设备正式发往行业头部企业，标志着东微电子在高端半导体装备制造
2025-03-31 16:25:00
...计划以发行股份及支付现金相结合的方式，收购上海华力微电子有限公司(华力微)的控股权。同时，公司拟进行配套融资。公告披露，本次收购的核心标的资产，是华力微旗下运营的、与华虹公司
2025-08-18 11:01:00
...及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设备。经过多年的技术研发和工艺积累，盛美上海已掌握SAPS/TEBO、T
2023-07-12 18:00:00
...工艺解决方案亮相，重点展示了其清洗设备、镀铜设备、炉管设备、全套先进封装湿法设备、Track设备和PECVD设备等一系列产品的技术先进性与工艺优势。成立于2005年的盛美上海
2024-03-29 10:00:00
...器产品在性能参数、可靠性、应用场景等方面存在一定的差异性，并非现有产能的简单重复。公司还称：“在手订单覆盖周期一般约为2个月，同时仍在持续进行业务开拓并持续获取订单，公司具有
2025-02-14 23:12:00
更多关于财经的资讯：
岁末年初，各类金融案件进入高发期。为切实保障人民群众财产安全，维护和谐稳定的金融环境，让广大市民安心过年，工行南通开发区支行营业室积极响应上级行关于严厉打击非法金融活动的部署要求
2026-01-27 20:33:00
工行南通如东栟茶支行的营业厅里，张女士手捧鲜花连连道谢的场景，成了冬日里最暖心的画面。而这束鲜花的背后，是一场因ATM转账输错卡号引发的乌龙
2026-01-27 20:35:00
“我要给我孙女儿办张卡。”一位佝偻身子的老太太拿着破旧的布袋子，在凛冽的寒风中推开工行南通新桥工行的大门，略带焦急的说到
2026-01-27 20:36:00
一、案例经过近日，一位面露难色的年轻宝妈拿着工商银行的宝贝成长卡来到工行南通悦来支行，提出要办理亲情账户换绑业务。由于家庭内部原因
2026-01-27 20:38:00
“您好，我们工地急需给工人办理工资卡，大家白天要施工根本抽不出时间去网点，请问你们能上门服务吗？”近日，工行南通大豫支行接到一位工地负责人的求助电话
2026-01-27 20:38:00
工行南通濠东路支行主动转变服务方式，将“移动柜台”搬进工厂车间，为该企业23名员工提供上门集中办理工资卡服务，并同步开展针对性反诈宣传
2026-01-27 20:39:00
为积极应对寒冬季节老年客户群体的金融需求，切实提升适老化服务水平，工行南通南川园支行近期聚焦老年客户痛点，主动作为，多措并举打造“适老网点”
2026-01-27 20:39:00
近日，聚变新能(安徽)有限公司“一种核聚变装置的多热源联合储能与辅助加热系统及方法”专利获授权。企查查专利摘要显示，本发明属于核聚变装置能量转换利用领域
2026-01-27 17:12:00
近日，福鹿家（郑州）企业管理有限公司发生工商变更，新增蜜雪集团（02097.HK）全资子公司福鹿兄弟（海南）企业管理有限公司为股东
2026-01-27 17:24:00
近日，杭州西湖上电科人形机器人创业投资合伙企业（有限合伙）成立，出资额2亿元，经营范围包含：创业投资（限投资未上市企业）
2026-01-27 17:24:00
近日，上海张江人工智能创新小镇生态服务有限公司成立，注册资本1亿元，经营范围包含：人工智能双创服务平台；组织文化艺术交流活动；科技中介服务等。企查查股权穿透显示，该公司由上海陆家
2026-01-27 17:24:00
为深入落实监管部门反假货币工作部署，进一步普及假币识别知识，提升公众防范假币诈骗的意识和能力，切实筑牢辖区金融货币流通安全防线
2026-01-27 17:29:00
随着社会对教育服务需求的不断升级，新华保险持续探索“保险+教育”的跨界融合模式，并于近期与新东方教育集团达成全方位战略合作
2026-01-27 19:11:00
为深入落实人民银行关于提升流通中人民币整洁度、优化现金支付服务的工作要求，切实保障老年人、境外来华人士等群体的现金使用权益
2026-01-27 17:30:00