36氪首发 ｜ 励兆科技完成数千万Pre-A轮融资，提供射频和等离子系统技术方案

作者 | 杨逍

编辑 | 苏建勋

近日，36氪获悉，半导体设备关键零部件射频和等离子系统供应商上海励兆科技宣布完成数千万元Pre-A轮融资，并邀请到前爱思强中国区总经理宋伟加入担任副总裁。本轮融资由中芯聚源领投，Monolith砺思资本和临港科创投共同投资。

励兆科技成立于2022年8月，位于上海市闵行区，是一家专注于半导体工艺设备领域的射频和等离子系统供应商。

国内半导体射频电源市场大概未来大约有超过50亿人民币的市场规模。但国内公司在半导体射频领域技术积累较少，美国MKS、AE，日本Daihen、Kyosan和德国霍廷格等公司垄断了95%以上的市场份额。

等离子体广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。在现实生活中，等离子技术已经得到各种广泛运用，尤其在泛半导体制造工艺领域。除了湿法制程之外，等离子体的应用领域几乎覆盖了从刻蚀(Etch)，原子层沉积(ALD/ALE)，物理化学沉积(PVD/CVD)，离子注入(Implant)，干法去胶(Strip)到光刻(Photo)，甚至化学机械研磨(CMP)的大部分细分半导体制程。等离子体发生和应用系统也就成为半导体设备行业的基础子系统之一，其他的关键子系统还包括真空系统、流量系统、光学系统、传送系统等等。

励兆科技创始人赵馗告诉36氪，励兆科技团队在射频、电力电子、控制和算法技术上都具有较深积累和完备的布局。高频电力电子是射频技术的一种，其人才在全球都非常稀缺，半导体射频电源要求兆赫兹级别的电力电子技术。公司核心成员从2012年便开始深耕这个领域的研究，是国际上为数不多的华人专家之一。

同时，产品的算法需要和半导体工艺相结合，需要熟悉等离子体加工工艺，且要有扎实的数理背景，励兆科技能很好地结合客户的实际工艺需求来研究和优化算法。

公司副总裁宋伟表示：“在半导体产业安全要求和实际市场需求的背景下，射频等离子领域需要一只高质量高效率的科学家背景团队来尽快突破国内技术的天花板，挑战并最终超越国际市场上的产业龙头。”因此，在产品初步开发成功后，他便加入了励兆科技，期望以丰富的市场应用经验推动励兆的快速发展。

目前励兆科技的主要产品是等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源(RPS)系统，而这些产品的基本作用就是在相关半导体工艺设备中产生等离子体并达成相关各种工艺。

在每道工序中，等离子体的产生及工作原理都不尽相同。比如大部分先进刻蚀系统，需要射频电源具备脉冲调制功能，以便用于刻蚀的等离子体有发生和中和的过程，可以稳定地朝着工艺指定的方向刻蚀；又比如在部分原子层沉积工艺中，为了配合工艺前体气体脉冲快速释放的节奏，射频电源需要配备复杂的调频功能来快速稳定降低射频反射系数。

针对这些技术要求，公司成立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产品，部分关键性能参数已达到国际先进水平，比如功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合独有MOFT调频功能 (模型导向的自动调频技术)，能实现亚毫秒量级的高速阻抗匹配，可以有效地满足多种工艺的需求，在国内率先为先进蚀刻和原子层沉积等工艺提供了可选方案。

同时在远程等离子源(RPS)领域，公司正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产品，预计在年底可为关键客户送样测试。

励兆团队表示，在目前复杂国际形势下，从根本上解决国产半导体设备的整体供应链安全问题刻不容缓。励兆科技的愿景是依托自身扎实的产业技术背景，创造一家世界级的中国射频等离子解决方案企业。

励兆科技的创始团队来自海内外知名高校和研究机构，拥有多年先进半导体设备开发经验，超过十年的射频电源系统研发和制造经验，在基础研究，产品开发，工艺应用和市场拓展等多个方面有着深厚的积累。首席科学家刘明教授，是上海交大电气工程系博导，曾在美国普林斯顿大学从事高频电力电子的研究。

公司副总裁宋伟是前爱思强中国区总经理，毕业于北航。在加入励兆科技之前，曾先后在美国维利安(Varian)、美国应用材料(AMAT)、美国万机(MKS)、美国柯狄(Kateeva)和德国爱思强(AIXTRON)等多家欧美知名公司担任中国区总经理或销售总监等高管职位。

投资人说：

中芯聚源表示，射频和等离子体系统是刻蚀等半导体设备的核心部件，技术难度高、国产化率低。励兆科技团队具有丰富的科研及产业经验，技术实力强、能力全面。产品定义领先，关键指标达到业内领先水平，可满足半导体设备核心零部件国产化的迫切需求。

临港科创投表示，射频电源及配套系统是半导体设备核心的电气类零部件产品，具有较高的技术难度和壁垒，是“卡脖子”的核心部件；国产射频系统的产业化起步较晚，严重依赖进口国产化率仅1~5%，国产替代空间大。创始团队均具有产业资深经验和高校科研经验，在射频/等离子体系统涉及物理、电子、大功率射频等交叉学科上拥有复合技术背景，具备大功率射频、半导体设备反应腔两方面的技术经验，熟悉核心技术、了解用户需求。

Monolith砺思资本表示，射频电源是产生等离子体的核心器件，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的必要设备。目前，射频电源几乎完全依赖进口，亟需国产化。励兆科技是国内少有的国际领先的研发团队，同时又有深厚的上下游产业积累，对于攻克其中的技术问题，顺利商业化大有帮助。