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工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见
类别：财经 发布时间：2023-11-16 12:32:00 来源：财联社
工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见
【工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见】财联社11月16日电，据工信部网站消息，根据标准化工作的总体安排，工信部现将申请立项的《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备 术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示，截止日期为2023年12月16日。其中，关于《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》，主要起草单位包括中国电子科技集团公司第四十八研究所，中国电子技术标准化研究院，湖南楚微半导体科技有限公司，中芯国际集成电路制造有限公司，北京北方华创微电子装备有限公司，中微半导体设备（上海）有限公司，合肥晶合集成电路股份有限公司等。
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