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本文转自:江淮晨报
本报讯 “注意精度,千万不能马虎,必须保证质量。”紧盯着机器运转的卫功文嘴上提醒着“徒弟”,遇到关键处还是习惯性地上手操作,一连串行云流水般的动作一气呵成。
2015年,卫功文来到合肥芯碁微电子装备股份有限公司,担任机械装配组长,他的主要工作是从事装配车间生产光刻设备LDI精密运动平台的精密装配、测量、调校、集成生产等工作。
“工作内容要求我必须对每寸每厘精益求精。”提到光刻机的工作原理,卫功文解释得通俗易懂。“你可以简单理解为,它借助光在基板上进行画图,而精密运动平台则是光刻机的核心部件,只有平台走得准,光刻机才能制作出高精度产品。”
然而光刻机相关工作的难度,还是远超卫功文的想象。比如,超精密直线运动如何保证?图形正确性与YAW值关系,偏差如何调校?……这些难题从卫功文来到车间起,便一直困扰着他,“国内没有经验可用,国外只卖设备,封锁制造技术。”这种受制于人的无力感,让卫功文深有感触,凭借一颗不服输“匠心”,让他想与这些“难题”掰掰手腕。
在那之后,卫功文带领自己团队日夜摸索,攻坚克难、结合高精度光学系统、标定系统、对工件台精密运动系统各部件特性了解,他最终成功找到对YAW值快速高效不破坏基础整体的调校方法,并被国内同行业借鉴规模使用。“我们实现了国产直写光刻机从无到有的技术突破,技术迭代。”
采访中,合肥芯碁微电子装备股份有限公司主要负责人告诉记者,这项技术不仅对公司设备量产装配调校,以及后期客户端维修服务起到绝对性的保障,还拓展到多机型应用,这满足了公司业务极速扩大的需求,“为公司设备自主国产化试制到量产,迈出了坚实的一大步。”
但聊起自己的这些成绩,卫功文却显得淡定不少。他觉得人要向前看,作为有着36年工龄的技术人员,要始终保持职业热情,并为此全身心投入。“我现在追求的最大目标,就是精益求精的做好产品,促进更多自主研发产品规模化生产。”
合肥通客户端-合报全媒体记者 汪涛
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快照生成时间:2024-04-24 06:45:04
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