ASML两款光刻机 出口许可被撤销

1月1日晚，荷兰光刻机巨头ASML在官网发布声明表示其NXT：2050i及NXT：2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销，将对个别中国客户产生影响。

至于上述两款产品的出口许可被撤销将会对该公司的中国客户产生怎样的影响，ASML1月2日回应第一财经记者，许可证的部分撤销，影响了向中国个别客户发运相关设备。

ASML官网显示，该公司主流的DUV光刻系统产品有三款，分别是TWINSCAN NXT:1980Di（下称“1980Di”）、TWINSCAN NXT:2000i（下称“2000i”）和TWINSCAN NXT:2050i（下称“2050i”）。2024年1月1日荷兰出口管制新规生效后，在所有的DUV光刻系统中，ASML只能向中国大陆地区出口1980Di产品。

根据ASML官网介绍信息，1980Di的单次曝光分辨率为大于等于38nm。也就是说，晶圆厂通过1980Di光刻系统的单次曝光，仅能制造出不小于38nm制程的芯片产品。不过尽管晶圆厂在理论上可以通过多次曝光技术利用该型号的光刻机制造出更小制程的芯片产品，但是这也意味着更加复杂的步骤、更高的成本和更低的良率。

在声明中该公司还表示，在近期与ASML的沟通中，美国政府对其出口管制的适用范围和影响进行了进一步澄清。美国2023年10月17日发布最新出口管制规则，限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。该公司预计此次出口许可证撤销及最新的美国出口管制限制不会对2023年的财务情况产生重大影响。

第六届进博会期间，ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波接受了第一财经等媒体的采访。沈波预计2023年内的一系列管制措施预计会对该公司在中国地区的业务有10%~15%的影响。但2024年中国市场的整体需求依然非常旺盛；预计到2025年行业会迎来较大的增长。

“虽然有新的出口管制的规则，我们在中国的业务还是非常大的。即使考虑到地缘政治的影响，2024年中国市场的整体需求依然处于非常旺盛的状态。短期内对总体业务量的影响不会太大。从长远对业务的预期来看，尽管行业有周期起伏，但到2030年整体上是往上的趋势，总体不会有什么大的改变。”沈波说。

财报信息显示，2023年第三季度，中国大陆的销售额占ASML整体销售额的比重达到46%，第二季度和第一季度该数字分别为24%和8%。沈波表示，过去两年的供应压力非常大，订单交付率低于50%。

“事实上不只是中国，在全球范围内我们都是这个50%左右的订单交付水平。2023年其实给了我们一个缓解的机会，把未交付的订单赶紧补一补。这就是为什么2023年在中国市场出货量增加比较大。当下中国尤其在成熟制程这块的需求非常旺盛。”沈波称，ASML的目标是在2025年底、2026年初，全球范围内要实现每年600台左右DUV机器的产能。

对于ASML在华的发展战略，沈波告诉第一财经等媒体，该公司当前在中国16个城市设有办公室，12个仓储物流中心。到2023年底ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量达到近1400台。

“2024年基本上会是在执行在手的未交付订单，同时也支持客户把之前很多没有用起来的产能慢慢提升上去。”沈波表示。