36氪首发｜「优睿谱」完成近亿元A轮融资，专注半导体前道量测设备

近日，36氪获悉，半导体前道制程量测设备公司优睿谱完成近亿元A轮融资，本轮融资由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。本轮融资将用于新产品的研发及量产。公司同时宣布启用无锡技术中心和上海金桥研发中心。

优睿谱成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。

半导体量测设备主要用于半导体制造工艺中缺陷检测和参数测量，广泛用于硅片制造、芯片制造、先进封装领域，如关键尺寸测量设备、薄膜厚度测量设备、缺陷检测设备等。前道制程量测设备已超过百亿美元市场规模。而更先进的制程工艺也扩大了量测设备的需求，给量测设备带来更多新的市场空间。

优睿谱自主开发了半导体专用傅里叶变换红外光谱测量设备，可以用来测量外延层厚度及均匀性、元素浓度、硅料杂质含量等。

产品方面，优睿谱FTIR设备Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，目前已获得多家头部碳化硅基外延厂订单；Eos200/200+, Eos300/300+用于硅基外延片外延层厚度和元素浓度测量设备也已获得多家头部硅基外延厂和FAB厂订单。

近日，公司的碳化硅自动光学位错微管检测设备SICD系列交付客户，可用于碳化硅衬底的位错及微管缺陷检测。据优睿谱总经理唐德明博士介绍，较国内同类功能的设备，SICD设备在检测速度上提升了数倍。

优睿谱产品

优睿谱总经理唐德明博士表示，由于公司产品线更加丰富、经营规模持续扩大，公司在无锡设立了技术中心。本次无锡技术中心的正式启用，有助于公司加快对客户的产品交付、有助于加快新产品的研发、验证和量产。优睿谱致力于打造高品质的半导体前道量测设备，在深厚的技术积累基础上实现技术创新，助力中国半导体前道量测设备自主可控。

优睿谱业务布局

在创始团队上，优睿谱核心团队由长期从事半导体行业的海归博士和国内资深的IC前道制程量测设备技术团队构成。目前，优睿谱拥有近60名员工。

投资人说：

基石浦江：优睿谱团队的技术创新和执行能力给我们留下深刻的印象。在持续拓展FTIR设备应用领域外，优睿谱还开发了多款用于其他前道量测场景的检测和测量设备，带动公司快速发展。

浑璞投资合伙人姜寅明：半导体量检测设备被看作是半导体制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演着非常重要的角色。当前，半导体量检测设备面临着迫切的国产替代需求，优睿谱在较短时间内完成了多款量检测产品的开发、推广和验证，充分反映出团队的深厚技术积淀、广阔人脉资源和强大市场能力。

中南创投合伙人王建晖：在半导体制造发展和制程工艺提升过程中，先进的量测设备必不可少，优睿谱正是顺势而生的一家优秀的半导体前道量测设备公司。凭借团队深厚的研发能力、上下游供应链的资源整合能力、敏锐的市场洞察力以及客户开拓和服务能力，优睿谱成立仅一年半，就推出多款填补国内空白的前道量测设备，并获得多家知名客户的订单和认可。