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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种加热灯组的风冷组件和半导体工艺设备”,专利申请号为CN202323497150.1,授权日为2025年2月14日。
专利摘要:本实用新型提供了一种加热灯组的风冷组件,包括底板和环形的进风板,底板设置于加热灯组底部,进风板连接于底板,进风板上开设有进风区域,进风区域环绕于底板分布。本实用新型的加热灯组的风冷组件和半导体工艺设备,通过在加热灯组底部的底板周围设置了环形的进风板,并且沿进风板的周向上开设有进风区域,使得冷却风能够在进风板的周向各处均匀流向加热灯组,实现对加热灯组的均匀冷却,提高各加热灯冷却的均匀性。
今年以来中微公司新获得专利授权29个,较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元,同比增94.58%。
数据来源:天眼查APP
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快照生成时间:2025-02-15 08:45:04
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