西安硬科技企业树立行业新标杆

本文转自：西安日报

建成全国首条大尺寸硅基Micro-LED微显示屏产线

西安硬科技企业树立行业新标杆

本报讯（记者 关颖）12月6日，致力于高性能Micro-LED技术开发的西安赛富乐斯半导体科技有限公司（简称“赛富乐斯”），对外宣布首条硅基 Micro-LED 微显示屏产线正式贯通。作为全国首条大尺寸硅基Micro-LED微显示屏产线，其贯通意味着作为AR眼镜光机的微显示屏成本将有所下降，从而带动眼镜整体成本的降低，将为AR眼镜产品的市场普及提供价格优势。

目前，显示产业发展到了“更新换代大洗牌”的阶段，有机发光（OLED）显示、发光二极管（LED）显示、激光显示、Micro-LED等多种新型显示技术竞相发展。其中，Micro-LED在亮度、大尺寸、功耗等方面具备明显优势，有力支撑了电视、显示器、AR/VR、智能手机、笔记本电脑、平板电脑等领域应用，因此被认为是颠覆产业的“终极显示技术”，也是未来显示技术的主流趋势和发展方向。

但是芯片制备、转移技术良率、成本等问题一直以来都是Micro-LED量产路上的障碍。为了提升Micro-LED生产效率、降低生产成本，应用更大尺寸的外延片也是Micro-LED成本考量的关键，这也是众多晶圆厂商不断研发更大尺寸Micro-LED晶圆的原因之一。

如今，随着赛富乐斯在西安宣布其首条大尺寸硅基Micro-LED 微显示屏产线正式贯通，大尺寸硅基Micro-LED量产路上的障碍有望被彻底清除。

“通过技术创新，我们成功将传统的4寸蓝宝石基制程升级为8寸兼容6寸的硅基制程，增大晶圆的有效使用面积、减少边缘芯片损失，使Micro-LED工艺与大尺寸CMOS更好地结合，大幅降低了生产成本。”赛富乐斯副总裁宋杰表示：“这条全新产线的建成，标志着公司初步具备了批量交付T系列微显示屏产品的能力。这除了意味着作为AR眼镜光机的微显示屏成本将下降外，同时，产线贯通也使赛富乐斯能够满足大规模的微显示屏出货需求，为市场提供稳定的供应。”

据了解，赛富乐斯的这条产线由其自主设计，并结合了陕西光子产业链“链主”企业——陕西光电子先导院科技有限公司（简称“光电子先导院”）平台资源，涵盖光刻、镀膜、刻蚀、测量等多个关键环节，总产能达60万颗每月。值得一提的是，光电子先导院可谓是赛富乐斯一路成长的见证者。2017年，赛富乐斯正式落户光电子先导院，利用其提供的电子束蒸镀机等一系列先进设备，赛富乐斯的研究成果很快从实验室进入产业化阶段，良品率达95%以上，先导院助力其成为全球首家可以量产工业级半极性氮化镓材料的企业。

“赛富乐斯落户以来，先导院一直以专业开放的平台支持赛富乐斯的创新发展。本次我们成功将先导院的平台与赛富乐斯的需求相结合，打造了全国首条硅基Micro-LED微显示屏产线，充分展现了赛富乐斯的技术和产品创新能力和先导院专业的技术服务能力。”光电子先导院总经理杨军红表示，先导院长期致力于光电芯片领域，以加速客户产品创新、助力光子产业发展为使命，未来双方还将在更广泛的领域开展深入合作。

中科创星创始合伙人、陕西光电子先导院执行院长米磊对赛富乐斯的未来发展也充满期望，他认为：“本次大尺寸硅基Micro-LED微显示屏产线的建成体现了赛富乐斯提升产能的决心，更是为行业树立了新的标杆。赛富乐斯作为典型的‘硬科技’企业，通过多年沉淀，将科技成果产业化，这样的长期主义所带来的行业进步是我们所乐于看到的。”

据工作人员介绍，赛富乐斯将从2024年一季度起开始生产T系列单色及全彩微显示屏产品，产品涵盖0.12英寸的单色屏、0.26英寸及0.39英寸的单片全彩屏，同时可为客户提供定制化服务。