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芯恩(青岛)集成电路取得用于晶圆加工过程中的排气稳定专利,稳定晶圆加工排气减少缺陷

类别:财经 发布时间:2025-05-10 18:21:00 来源:瘦子财经

金融界 2025 年 5 月 10 日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“用于晶圆加工过程中的排气稳定装置及半导体设备”的专利,授权公告号 CN222838811U,申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种用于晶圆加工过程中的排气稳定装置及半导体设备,包括:压力检测件,设于排气管路内且用于检测排气管路内的实际压力值;气流调节机构,设于排气管路上且用于调节排气管路内的气体流量;控制器,与压力检测件和气流调节机构控制连接,根据实际压力值,控制器控制气流调节机构调节排气管路内的气体流量。本实用新型通过压力检测件实时地检测排气管路内的实际压力值,根据实际压力值的变化情况,控制器控制气流调节机构调节排气管路内的气体流量,以稳定晶圆加工过程中的排气,从而在很大的程度上减少因排气不稳定造成的晶圆缺陷,提高产品良率,减少不必要的停机,提高机台的使用效率。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目167次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息651条,此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自:金融界

作者:情报员/阅读下一篇/返回网易首页下载网易新闻客户端

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